Penutup aliran laminar yang dimurnikan adalah unit pemurnian udara yang dapat menyediakan lingkungan bersih secara lokal, dapat diinstal secara fleksibel di atas titik proses yang membutuhkan kebersihan tinggi.
Detail pengenalan:
Penutup aliran laminar yang dimurnikan & nbsp; adalah unit pemurnian udara yang menyediakan lingkungan bersih lokal. Hal ini dapat dipasang secara fleksibel di atas titik proses di mana kebersihan tinggi diperlukan. Hal ini dapat digunakan sendiri atau dalam kombinasi untuk membentuk area bersih berbentuk strip. Penutup aliran laminar yang dimurnikan melewati udara melalui filter efisiensi tinggi pada kecepatan angin tertentu untuk membentuk lapisan aliran seragam, sehingga udara bersih secara vertikal satu arah, dengan demikian memastikan kebersihan area proses.
Fitur:
● Kabinet terbuat dari stainless steel SUS304 berkualitas tinggi, yang mudah dibersihkan;
● Pasokan udara teratas, efisiensi filter efisiensi tinggi ≥ 99,99% @ 0,3um, tingkat pemurnian area operasi lebih tinggi dari kebersihan ruangan;
● Inverter menyesuaikan kecepatan angin; tombol mengontrol pencahayaan dan daya.
Parameter:
|
Referensi teknis |
|
|
Bahan |
Spanel baja tainless |
|
Fitur-fitur |
Hjenis anging & nbsp; jenis dukungan pendaratan |
|
Aplikasi |
presisi Mesin, Elektronik, Farmasi, Makanan, Bahan Kimia Halus Penggunaan, pemurnian |
|
Penggunaan |
pemurnian |
|
Kecepatan angin rata-rata |
0,25-0,45m / s (dapat disesuaikan) |
|
Kebisingan |
dan 62 dB (A) |
|
Pasokan listrik |
220V & nbsp; 50hz |
|
Sertifikasi |
ISO9001:2008; SGS |
Ya— Mereka & rsquo; Raja semakin disukai. & nbsp; Panel kamar bersih farmasi dan Pharmaceutical cleanroom ceiling sistem memenuhi atau melebihi persyaratan semikonduktor untuk outgassing rendah, permukaan halus, dan kebersihan. Profil VOC bersertifikat mereka, selesai yang sesuai dengan ESD, dan konstruksi gasket membuatnya ideal untuk kandang alat EUV dan teluk metrologi. Pastikan saja pemasok memvalidasi kinerja terhadap standar SEMI— tidak hanya ISO atau USP < 797> .
ASML menentukan kondisi ISO Kelas 3 yang terlokalisasi (setara dengan kelas 100 ruang bersih dalam istilah Fed-Std-209E yang lebih tua) langsung di sekitar pemindai; s kolom optik dan tahap retikel. Zona layanan alat di sekitarnya biasanya membutuhkan ISO Kelas 4 & ndash; 5, sementara teluk fab umum dapat beroperasi di ISO Kelas 7 (kelas 10000 ruang bersih). Kepatuhan penuh membutuhkan kaskad tekanan zonasi, pemantauan partikel real-time, dan waktu pemulihan yang divalidasi di bawah 20 detik setelah pembukaan pintu; Diverifikasi menurut ISO 14644-3.
Aktifkan dan jalankan selama minimal 20 menit sebelum digunakan untuk menetapkan pola aliran udara yang tepat dan mencapai tingkat kebersihan yang diperlukan.
Area kerja beroperasi di bawah tekanan negatif relatif terhadap area latar belakang. Kebersihan statis sama dengan kebersihan area latar belakang. Tutup port knalpot untuk menciptakan tekanan positif untuk mencapai kebersihan statis Kelas A.
Aliran udara satu arah melindungi produk dari kontaminasi. Sebuah standar Clean laminar flow hood menawarkan aliran vertikal atau horizontal untuk pekerjaan benchtop. Varian cleanroom Clean laminar flow hood terintegrasi langsung ke dalam desain fasilitas untuk stasiun permanen. Untuk kebutuhan yang fleksibel, sebuah cleanroom Moving Laminar Hood Vehicle memungkinkan mobilitas di berbagai ruang kerja. Unit ini memastikan kondisi ISO Kelas 5 langsung di permukaan kerja untuk mencegah penyelesaian partikel.
Penanganan bubuk membutuhkan penahanan untuk melindungi operator. Sebuah cleanroom Negative Pressure Weighing Room mencegah pelarian debu dengan menjaga tekanan yang lebih rendah daripada daerah sekitarnya. Bahan masuk melalui clean room Pass Box untuk menjaga integritas zona. Peralatan ruang bersih umum harus kompatibel dengan agen pembersih yang digunakan di zona ini. Protokol keselamatan memastikan bahan berbahaya tetap terkandung selama proses menimbang dan dispensing.
Perlindungan lokal mengurangi biaya fasilitas keseluruhan. cleanroom Peralatan Bersih Lokal menargetkan stasiun kerja tertentu secara efektif. Sebuah hood aliran laminar bersih memberikan aliran udara satu arah melalui proses terbuka. Untuk mobilitas, sebuah cleanroom Moving Laminar Hood Vehicle memungkinkan posisi fleksibel zona udara bersih di mana kondisi steril sementara diperlukan untuk pemeliharaan atau pengaturan.
Sistem modular menawarkan fleksibilitas dan kecepatan. Sebuah Cleanroom Clean Booth dapat diinstal dalam fasilitas yang ada dengan mudah. Aliran udara didorong oleh mekanisme aliran laminar bersih ruang bersih. Pemeriksaan filter secara teratur sangat penting. Menggunakan struktur Clean Booth memungkinkan rekonfigurasi cepat jalur produksi tanpa mengkompromikan tingkat klasifikasi kebersihan udara yang diperlukan untuk operasi.